GB∕T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测
ICS13.040.35
CCS C 70
中华人民共和国国家标准
GB
/
T25915.2
—
2021
/
ISO14644-2
:
2015
代替 GB
/
T25915.2
—
2010
洁净室及相关受控环境
第2部分:
洁净室空气粒子浓度的监测
Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments
—Part2
:
Monitorin
g
to
p
rovideevidenceofcleanroomp
erformancerelatedtoair
cleanlinessb
yp
articleconcentration
(
ISO14644-2
:
2015
,
IDT
)
2021-08-20发布 2022-03-01实施
国家市场监督管理总局
国家标准化管理委员会
发 布
目 次
前言 Ⅲ
…………………………………………………………………………………………………………
引言 Ⅴ
…………………………………………………………………………………………………………
1 范围 1
………………………………………………………………………………………………………
2 规范性引用文件 1
…………………………………………………………………………………………
3 术语和定义 1
………………………………………………………………………………………………
4 监测计划的制定、
执行及持续改进 2
………………………………………………………………………
5 按粒子浓度定期划分空气洁净度 3
………………………………………………………………………
附录 A(
资料性)
制定监测计划考虑事项 4
………………………………………………………………
附录 B(
资料性)
设定预警值和干预值的考虑事项 7
……………………………………………………
参考文献 11
……………………………………………………………………………………………………
Ⅰ
GB
/
T25915.2
—
2021
/
ISO14644-2
:
2015
摘要：
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ICS13.040.35CCSC70中华人民共和国国家标准GB/T25915.2—2021/ISO14644-2:2015代替GB/T25915.2—2010洁净室及相关受控环境第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part2:Monitoringtoprovideevidenceofcleanroomperformancerelatedtoaircleanlinessbyparticleconcentration(ISO14644-2:2015,IDT)2021-08-20发布2022-03-01实施国家...
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